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自從1962年半導(dǎo)體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問(wèn)世以來(lái)，半導(dǎo)體氣體傳感器已經(jīng)成為當(dāng)今應(yīng)用zui普遍、*的一類(lèi)氣體傳感器。它具有成本低廉、制造簡(jiǎn)單、靈敏度高、響應(yīng)速度快、壽命長(zhǎng)、對(duì)敏感低和電路簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。不足之處是必須在高溫下工作、對(duì)氣體或氣味的選擇性差、元件參數(shù)分散、穩(wěn)定性不理想、功率高等方面。

目前按照氣敏特性來(lái)分，主要分為：半導(dǎo)體型、電化學(xué)型、固體電解質(zhì)型、接觸燃燒型、光化學(xué)型等氣體傳感器，又以前兩種zui為普遍。

我國(guó)這些年工業(yè)發(fā)展迅速，種類(lèi)逐漸齊全，而物位測(cè)量?jī)x表作為工業(yè)生產(chǎn)*的重要儀表，需求量很大。巨大市吸引力也造成了激烈的競(jìng)爭(zhēng)。雖然目前國(guó)內(nèi)物位儀表生產(chǎn)廠家眾多，但大多是技術(shù)含量較低、精度比較低的產(chǎn)品，即便銷(xiāo)量可觀，經(jīng)濟(jì)效益也不可觀。怎樣的產(chǎn)品才能有效的占領(lǐng)國(guó)內(nèi)物位儀表市場(chǎng)呢，關(guān)鍵在于開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)，的產(chǎn)品。根據(jù)有關(guān)機(jī)構(gòu)的調(diào)查顯示，在物位測(cè)量裝置的選購(gòu)標(biāo)準(zhǔn)中，zui受人們關(guān)注的因素依次是：精度，可靠性，耐久性，操作簡(jiǎn)易度，價(jià)格，等。很明顯，精度是人們關(guān)心的首要參數(shù)。而很多市場(chǎng)預(yù)測(cè)也驗(yàn)證...

（1）流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。（2）測(cè)量控制的自動(dòng)化質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0...

質(zhì)量流量控制器（MFC）中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門(mén)，閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿(mǎn)量程，在工作的過(guò)程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于zui低值（0.1MPa），有可能控制達(dá)不到滿(mǎn)量程值;若高于zui高值（0.3MPa），有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶(hù)使用MFC時(shí)，無(wú)論用戶(hù)工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)...